四氟PTFE管道在半导体行业的应用前景

半导体制程为什么需要四氟管？

芯片制造湿制程需要大量超高纯度化学品：超纯水(18.2MΩ·cm)、氢氟酸(蚀刻SiO2)、硫酸磷酸硝酸(清洗剥离)、异丙醇(IPA干燥)。这些化学品要求绝对纯净+超强耐腐，只有PTFE/PFA同时满足。

PTFE vs PFA

半导体级特殊要求

• 金属离子含量低于10ppb（工业级仅100ppm，差一万倍）
• 管路内壁粗糙度Ra小于0.25微米
• 每根出厂前UPW冲洗至达标、洁净室封装发货

金展防腐正在开发PFA透明管路、PTFE储罐、四氟阀门接头等产品线，预计Q3完成样品送样。17685675687